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世界初！品質・効率を大幅改善！
超純水高速追従ワンパスチラーとは
弊社製品であるハイレスポンスチラーシステムを使用し、下図の様に熱交換器を挟み超純水の温度を高速に制御します。
超純水の送られてくる流量が変動しても、数分（1～2分）で±0.1℃の高精度温調を致します。
使用する熱交換器もテフロン製とチタン製（新開発製品）を選択可能です。
※従来のテフロン製熱交換器をチタン製熱交換器に置き換えて使用も可能です。
世界初！チタンブレージングプレート熱交換器を搭載
世界初のチタンブレージングスーパークリーン製法により部材・接合材ともチタン製のブレージング専門の技術を活かしたオリジナル熱交換器です。
従来のテフロン製交換機から大幅なサイズダウンに成功しました。
コンパクトになったことで軽量かつスペースを取らず配置もしやすくなっております。
半導体メーカーの成分分析で基準値をクリア
- TOC=10ppdで、スーパークリーン。コンタミレスを実現！
- 非抵抗=15MΩ以上でクリア。
従来のテフロン製熱交換器の仕様も可能
テフロン製熱交換器であっても高速温調が可能です。チタンブレージングを使用する事が出来ない場合にはこちらで対応可能です。
| 製品型式 | ACS-4500 | ACS-7000 | ACS-12000 | ACS-18000 | ACS-24000 |
|---|---|---|---|---|---|
| 処理流量*1 | 10L/min | 15L/min | 20L/min | 30L/min | 40L/min |
| 温度差*2 | 7℃ | 6.5℃ | 8.5℃ | 8.5℃ | 8.5℃ |
| 温度安定性*3 | ±0.03℃ | ||||
*1.処理する超純水の流量で温度差の最大値は決まります。（あくまで目安です。）
*2.御希望の温度差に対応する事が可能です。
*3.設置条件によります。
*カスタマイズも可能です。（加熱能力だけを倍にする等）
