超純水高速追従ワンパスチラーの製品紹介|チラー(冷却水循環装置)のことなら株式会社AMU冷熱

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超純水高速追従ワンパスチラー

世界初!品質・効率を大幅改善!

超純水高速追従ワンパスチラーとは

弊社製品であるハイレスポンスチラーシステムを使用し、下図の様に熱交換器を挟み超純水の温度を高速に制御します。
超純水の送られてくる流量が変動しても、数分(1~2分)で±0.1℃の高精度温調を致します。
使用する熱交換器もテフロン製とチタン製(新開発製品)を選択可能です。

超純水高速追従ワンパスチラーとは
超純水高速追従ワンパスチラーはダイレクトに瞬時に精密温調します

世界初!チタンブレージングプレート熱交換器を搭載

世界初のチタンブレージングスーパークリーン製法により部材・接合材ともチタン製のブレージング専門の技術を活かしたオリジナル熱交換器です。
従来のテフロン製交換機から大幅なサイズダウンに成功しました。
コンパクトになったことで軽量かつスペースを取らず配置もしやすくなっております。

半導体メーカーの成分分析で基準値をクリア

  • TOC=10ppdで、スーパークリーン。コンタミレスを実現!
  • 非抵抗=15MΩ以上でクリア。
チタン製熱交換器についてはこちら
チタン製熱交換器

従来のテフロン製熱交換器の仕様も可能

テフロン製熱交換器であっても高速温調が可能です。チタンブレージングを使用する事が出来ない場合にはこちらで対応可能です。

テフロン製熱交換器
製品型式 ACS-4500 ACS-7000 ACS-12000 ACS-18000 ACS-24000
処理流量*1 10L/min 15L/min 20L/min 30L/min 40L/min
温度差*2 7℃ 6.5℃ 8.5℃ 8.5℃ 8.5℃
温度安定性*3 ±0.03℃

*1.処理する超純水の流量で温度差の最大値は決まります。(あくまで目安です。)
*2.御希望の温度差に対応する事が可能です。
*3.設置条件によります。
*カスタマイズも可能です。(加熱能力だけを倍にする等)

純水高精密ワンパスチラーはこちら
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