超純水専用チタン製熱交換器の製品紹介|チラー(冷却水循環装置)のことなら株式会社AMU冷熱

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超純水専用チタン製熱交換器

世界初!品質・価格・効率を大幅改善!

超純水専用のチタン製熱交換器とは

材質がチタンのため、テフロンと比べ非常に大きな熱交換効率を得られます。
コンパクトで必要とされる冷却水量も少なくて済む利点を生かし、設備の局所的なラインで水温をコントロールする場合にも、設置スペースが小さくて済む事も大きな利点です。
価格もテフロン製と比べると、低コストでご提供できます。

超純水

  • 不純物や金属イオンの溶出が極めて少ないので(TOC10ppbレベル)テフロン製熱交換器と同等の清浄度を保てます。
    (複数の半導体製造装置メーカー様で実績があります。)

オゾン水

  • オゾン水にも問題無く使用可能です。

世界初!チタンブレージングプレート式熱交換器を搭載

世界初のチタンブレージングスーパークリーン製法により部材・接合材ともチタン製のブレージング専門の技術を活かしたオリジナル熱交換器です。
従来のテフロン製交換機から大幅なサイズダウンに成功しました。
コンパクトになったことで軽量かつスペースを取らず配置もしやすくなっております。

半導体メーカーの成分分析で基準値をクリア

  • TOC=10ppdで、スーパークリーン。コンタミレスを実現!
  • 非抵抗=15MΩ以上でクリア。

テフロン式熱交換器との比較

  • 1. 価格が安い
  • 2. 非常にコンパクト
  • 3. 冷却水の流量(使用量)を、少なく出来る(省エネ)
  • 4. 冷却水温度と近い水温で、超純水を取り出す事が可能
    (最大△t 2°C以内)
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チタン製熱交換器 テフロン製熱交換器
超純水高速追従ワンパスチラーはダイレクトに瞬時に精密温調します
機種・型式 TBS-MT05 TBS-MT07 TBS-MT11 TBS-MT21 TBS-LT21 TBS-LT41
寸法L×W×H 310×90×25 310×90×33 310×90×47 310×90×82 580×150×80 580×150×156
回路数(高温/低温) 5(2/3) 7(3/4) 11(5/6) 21(10/11) 21(10/11) 41(20/21)
伝熱面積(m²) 0.085 0.128 0.213 0.427 1.388 2.776
設計圧力(MPa) 2MPa
設計温度(°C) -196°C~+200°C
流量(L/min) 2~16 2~24 2~40 2~80 10~200 10~400
本体質量(kg) 1.35 1.65 2.26 3.8 11.4 21.5
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